作为一款缺陷形貌分析的测量仪器,其主要目的是对大型样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20,这款大尺寸样品原子力显微镜,凭借着数据准确性,在半导体和超平样品行业中大受赞扬,ParkNX20拥有业界便捷的设计和自动界面,让你在使用时无需花费大量的时间和精力,也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点,您可以更加专注于解决更为重大的问题,并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。
强大全面的分析能力,Park NX20具备的功能,可快速帮助客户找到产品失效的原因,并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。与此同时,真正非接触扫描模式让探针尖端更锋利、耐用,无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。
产品特点
1)Smartscan智能扫描模式,“1,2,3”点击即可实现成像
2)Pinpoint Nanomechanical力控出图模式,更优越的力学形貌成像及各种电学测试
3)强大的内置集成软件系统,自带LFM/液相AFM/MFM/EFM/KPFM/Force Curve软件模式
技术参数
低噪声XYZ位置传感器
高速Z轴扫描器,扫描范围15μm
自动多样点扫描,集成编码器的XY自动载样台(编码器可用于所有自动样品载台,XY马达运动工作时分辨率为1 µm,重复率为2 µm。Z马达运动的分辨率为0.1 µm,重复率为1 µm)
用于高级扫描模式易插拔扩展槽。
200mm样品台(可选择300mm样品台)
选项/模式
标准成像
电学性能测量
机械性能测试
真正非接触式
接触式
侧向摩擦力显微技术(LFM)
相位模式,轻敲模式
导电AFM(ULCA和VECA)
静电力显微镜(EFM)
压电力显微镜(PFM)
扫描电容显微镜(SCM)
扫描开尔文探针显微镜(KPFM)
扫描电阻显微镜(SSRM)
力调制显微镜(FMM)
(PFM)压电力显微镜
力调制显微镜(FMM)
压痕,纳米刻蚀
相位成像
磁性能
热性能
磁力显微镜(MFM)
扫描热显微镜(SThM)
应用
用于失效分析和大型样品研究的领先的纳米计算工具,满足各个领域的研究
缺陷检查成像和分析
高分辨率电子扫描模式
对样品合基片进行表面粗糙度测量
样品侧壁三维结构的测量
Tel:021-64283335
Email:admin@shnti.com
规格参数