F50系统
自动化薄膜测绘Filmetrics F50 系列的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。一个电动R-Theta 平台可接受标准和客制化夹盘，样品直径可达450毫米。(耐用的平台在我们的量产系统能够执行数百万次的量测!)測绘圖案可以是极座標、矩形或线性的，您也可以创造自己的测绘方法，并且不受测量点数量的限制。內建数十种预定义的测绘圖案。不同的 F50 仪器是根据波长范围来加以区分的。 标准的 F50是最受欢迎的产品。 一般较短的波长 (例如， F50-UV) 可用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
型号 测试厚度范围 波长选配
F50 20nm-70µm 380-1050nm F50-UV 5nm-40µm 190-1100nm F50-NIR 100nm-250µm 950-1700nm F50-EXR 20nm-250µm 380-1700nm F50-UVX 5nm-250µm 190-1700nm F50-XT 0.2µm-450µm 1440-1690nm F50-s980 4µm-1mm 960-1000nm F50-s1310 7µm-2mm 1280-1340nm F50-s1550 10µm-3mm 1520-1580nm 产品配置
•集成光谱仪/光源装置
•光纤电缆
•4", 6" and 200mm 参考晶圆
•TS-SiO2-4-7200 厚度标准
•BK7 参考材料
•整平滤波器 (用于高反射基板)
•真空泵
•备用灯
配件选购
可追溯的 NIST 厚度标准
F50 平台 - 100mm，200mm，300mm，以及450mm（450mm夹盘需要F50-450机型） F50 平台 - 100mm，200mm，300mm，以及450mm（450mm夹盘需要F50-450机型）
F50 小光斑选项，可见光或紫外 F50 小光斑选项，可见光或紫外
规格参数
