F54系列
自动化薄膜测绘Filmetrics F54 系列的产品能以一个电动R-Theta 平台自动移动到选定的测量点以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度, 样品直径达450毫米可选择数十种内建之同心圆,矩形,或线性图案模式,或自行建立无数量限制之测量点.仅需具备基本电脑技能的任何人可在数分钟内自行建立配方F54 自动化薄膜测绘只需联结设备到您运行Windows™系统计算机的USB端口, 可在几分钟轻松设置不同的型号主要是由厚度和波长范围作为区别。通常较薄的膜需要较短波长作测量(如F54-UV) 用来测量较薄的膜,而较长的波长可以用来测量更厚，更粗糙，或更不透明的薄膜
型号 测试厚度范围 波长选配
F54 20nm-40µm 380-850nm F54-UV 4nm-30µm 190-1100nm F54-NIR 40nm-100µm 950-1700nm F54-EXR 20nm-100µm 380-1700nm F54-UVX 4nm-100µm 190-1700nm 产品配置
•集成光谱仪/光源装置
•MA-Cmount 安装转接器 显微镜转接器•光纤连接线•BK7 参考材料•TS-Focus-SiO2-4-10000 厚度标准 聚焦/厚度标准•4", 6" and 200mm 参考晶圆•真空泵•备用灯选购配件可追溯的 NIST 厚度标准F50 平台 - 100mm，200mm，300mm，以及450mm（450mm夹盘需要F50-450机型） F50 平台 - 100mm，200mm，300mm，以及450mm（450mm夹盘需要F50-450机型）
规格参数
