三维测量显微镜
三维表面微观测量及粗糙度评定广泛应用于精密加工、半导体加工、材料分析等领域
优势
√ 亚纳米级纵向分辨率，适合光滑表面测量分析
√ 简单、精确、快速、可重复
√ 丰富的测量模式支持不同2D/3D测量需求
功能
√ 表面三维粗糙度非接触测量
√ 表面微观三维结构测量
√ 膜厚测量与分析
√ 显微反射光谱测量(选)
适用对象
精密光学元件，微纳加工器件，金属机加工零件，晶圆等
测量原理
√ 白光干涉显微测量原理：采用白光光源，将非相干光干涉和高分辨率显微成像技术相结形成微观三维轮廓，采用不同测量倍率物镜，纵向测量分辨率可达到亚纳米量级
√ 显微光谱测量：选配光谱模块可以实现表面微区光谱测量和膜厚测量功能。
从产品研发到质量控制，Micro1000系统可以用于从超光滑镜面到粗糙面的各种样品进行表面微观测量分析和粗糙度质量评价
规格参数
